DIN 50451-2-2003 半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量

作者:标准资料网 时间:2024-05-01 01:53:53  浏览:9530   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationoftraceelementsinliquids-Part2:Calcium(Ca),cobalt(Co),chromium(Cr),copper(Cu),Iron(Fe),nickel(Ni)andzinc(Zn)inhydrofluoricacidwithplasma-inducedemissionspectros
【原文标准名称】:半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量
【标准号】:DIN50451-2-2003
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2003-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铁;锌;高纯度;检定;含量测定;铬;发射分光光度测定法;氢氟酸;半导体工艺;化学分析和试验;液体;纯净水;铜;微量元素;分析;钙;金属;镍;半导体工程;半导体;钴;定义;微量元素分析;材料;试验;材料试验
【英文主题词】:
【摘要】:Thedocumentspecifiesamethodfortestinghydrofluoricacidforthemetaltracesofcobalt(Co),chromium(Cr),copper(Cu),iron(Fe),andnickel(Ni)relevanttosemiconductortechnology.Emissionspectroscopywithplasmaexcitation(forexample,inductivelycoupledplasma(ICP)ordirectcurrentplasma(DCP))isusedforthedetermination.Therangeofapplicationcoverstraceelementmassfractionsfrom1ng/gto1000ng/g.#,,#
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:8P;A4
【正文语种】:德语